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真空腔体的概述

       这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而准备的,而晶圆容量不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点是机台定位的静态、动态响应,抽气时间、稳定时间缩短等等。
2019/06/17 11:14:46 564 次

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