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圆筒型卧式真空腔体



          放电清洗:
          放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中。.放电清洗的作用取决于电机材料、真空腔体几何形状及其与表面的关系。利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去掉。


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